株式会社コメットは、コンビナトリアル成膜技術を駆使して新機能性材料開発をお手伝いする会社です。

新着情報

　　　　　　

2019年3月

コンパクトな3元コンビナトリアル・スパッタ装置 CMS-3200 を出荷納入しました。

2017年6月

資本金を 9,098万円に増資しました。

2017年2月

トルクメニスタン科学アカデミーにコンビナトリアル成膜装置群を納入しました。

2016年11月

2元コンビ専用スパッタ装置 CMS-2200 を発売しました。

2016年11月

移動ロードロックシステム CEXC-2420 を発売しました。

2015年12月

本社オフィス・ラボをつくば市東光台5-9-5に移転しました。

サポート情報（FAQ）

サービス関連

Ｑ．コンビナトリアル技術って何ですか？

Ａ．１つの試料基板上に、2元あるいは3元の組成を最大 0 から100% まで変化させた相図のような試料を作る技術です。

Ｑ．クサビ状の膜厚傾斜の単原子層って？?

Ａ．単原子層程度の膜厚になると、実は変化しているのは表面での被覆率なんです。ですので、直線的な組成傾斜を正確に作ることができます。

Ｑ．コンビナトリアル試料は何が優れているんですか？

Ａ．試料中の厚みも成膜条件も同一で、組成だけが変化している試料を一括して評価すれば、全組成の評価が一度にできます。新機能に必要な最適な組成を、多数の試料を作成することなく、短時間で見出すことができます。

Ｑ．試料作製に必要な時間と費用は？

Ａ．装置スケジュールによりますが、基板とターゲットを準備してから、およそ2週間です。費用に関しては、ご打合せの上でお見積書を差し上げます。

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製品関連

Ｑ．コンビ・スパッタ装置 CMS-6420 でどのような材料が成膜できますか？

Ａ．金属・酸化物・窒化物などあらゆる種類の複合材料の成膜が可能です。強磁性体材料に対しても、専用のスパッタ・カソードを装備可能です。

Ｑ．CMS-6420 の納期はどれくらいですか？

Ａ．ご下命後、6か月です。

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