近年、持続可能な成長に向けた環境・エネルギー・資源問題への対応が、全世界における大きな課題となっています。NIMSではこの課題解決に向け、これまでに培った先端的な共通技術や、無機、有機の垣根を越えて発現する、ナノサイズ特有の物質特性等を利用して、再生可能エネルギーの利用を促進するための新材料、省エネルギーに資する新材料、環境負荷の低い新材料、希少元素の減量・代替・循環のための新材料に関する研究をプロジェクトとして進めています
(株)コメットをNIMS発ベンチャー企業として認定(2007年12月)。NIMSベンチャー支援プログラムの基にNIMS並木地区で創業し、以来、JST/A-STEPなどの共同開発研究を行っています。
株式会社パスカルは、真空機器・装置,理化学機器・装置においてグローバルな視野を持ち、常に時代の最先端を見つめ、新しい技術と商品ニーズを先取りし、ユーザー様の役に立つ製品を提供し続けています。
(株)コメットとは、コンビナトリアル・Laser-MBE装置(PLD装置)のプロセス開発を通じて協業しています。
アッシングシステム、CVD、エッチング装置、自動ナンバリング露光装置など、半導体製造装置をはじめとする広範な自動制御機器開発および生産の分野でアペックスは多くのお客様のご支持をいただいてきました。「ファインメカ」、「エレクトロニクス」、「空圧制御」、「真空」、さらに「プラズマ」等の最新技術を積極的に取り入れ、高い精度が要求される半導体製造装置において、高品質で安定した装置技術を提供しています。
半導体量産装置製造の高い品質と長い経験により、(株)コメットは、コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置 CMS-6420 の製造・品質管理を委託しています。
真空熱処理、CVD、PVDによる硬質薄膜処理の受託加工、PVD物理蒸着処理装置および窒化処理装置の製造・販売をしています。
(株)コメットの創業時からのパートナー企業です。
〒300-2635
つくば市東光台5-9-5
TEL 029-869-8620
FAX 029-869-8621